<nobr id="9xbdx"><listing id="9xbdx"><dfn id="9xbdx"></dfn></listing></nobr>

    <pre id="9xbdx"></pre>
    <address id="9xbdx"></address>
    <menuitem id="9xbdx"></menuitem>

      <pre id="9xbdx"></pre>
              <delect id="9xbdx"><sub id="9xbdx"></sub></delect>

              <rp id="9xbdx"></rp>

                <var id="9xbdx"><track id="9xbdx"></track></var>

                超過800萬條軟件/作品著作權公告信息!

                提供基于中國版權保護中心以及各省市版權局著作權登記公告信息查詢

                平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構及制備方法專利登記公告


                專利名稱:平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構及制備方法

                摘要:本發明提供一種平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構及制備方法。其中,所述微懸臂梁結構包括:懸臂梁區、連接在所述懸臂梁區一側的質量塊區、及連接在所述懸臂梁區另一側的參考電阻區,其中,所述懸臂梁區包括:相互分離的主懸臂梁、驅動微梁和敏感微梁,其中,驅動微梁作為驅動電阻,與驅動電源連接,敏感微梁作為敏感壓阻,與所述參考電阻區所具有的多個電阻區共同形成電橋;所述驅動微梁與敏感微梁的寬度均遠小于主懸臂梁的寬度。該結構工作在平面內諧振模態,通過激勵微懸臂梁的平面內諧振模態可減少其在液體環境中工作的阻尼力,提高品質因數,進

                專利類型:發明專利

                專利號:CN201110072710.1

                專利申請(專利權)人:中國科學院上海微系統與信息技術研究所

                專利發明(設計)人:陶亦涵;于海濤;許鵬程;徐鐵剛;熊斌;李昕欣

                主權項:一種平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構,其特征在于包括:懸臂梁區、連接在所述懸臂梁區一側的質量塊區、及連接在所述懸臂梁區另一側的參考電阻區,其中,所述質量塊區包含金屬薄膜區及分別連接所述金屬薄膜區的兩連接梁;所述懸臂梁區包括:相互分離且與所述質量塊連接的主懸臂梁、與一連接梁相連的驅動微梁及與另一連接梁相連的敏感微梁;其中,用作驅動電阻的驅動微梁與用作敏感壓阻的敏感微梁的寬度均遠小于主懸臂梁的寬度;所述參考電阻區包括多個電阻區,所述多個電阻區與所述敏感微梁共同連接成電橋。

                專利地區:上海

                国产亚洲高清无卡码一区二区三区,日本一卡二卡三卡四卡,国色天香一卡二卡三卡四卡在线观看,一卡三卡四卡无卡免费网站,卡一卡二卡三卡四免费视 国产亚洲AV一卡2卡三卡4卡幕| 日本乱码一本二卡三卡四卡| 国产一卡二卡三卡新区在线| 亚洲AV无码片一区二区三区| 欧洲一卡2卡3卡4卡| 欧美日韩一卡二卡≡卡四卡高清乱码| 午夜福礼卡一卡二卡三卡| 国产亚洲一卡二卡三卡| 成片一卡一卡高清在线观看| 一卡二卡三免费| 日本卡一卡二卡三卡四视频| 精品免费一卡三卡四卡| 精品乱码1卡2卡3卡4卡| 欧美日韩一本大道卡2卡3卡4卡| 欧洲高清无卡码一区二区三区| 成片一卡2卡3卡4卡新区| 欧美日韩一卡2卡3卡4卡乱码在线| 成片一卡2卡3卡4卡5卡视频| 国产在线卡一卡二卡三卡下载| 国色天香一卡二卡二卡四卡| 欧美日韩一卡2卡3卡4卡5卡视频| 成片2021卡一卡二卡三| 一卡二卡三卡免费播放在线观看| 精品不卡一卡2卡三卡4卡5卡| 国产亚洲1卡二卡三卡四卡| 欧洲一卡两卡三卡| 欧洲一本到卡二卡三卡| 欧洲一卡2卡3卡4卡乱码在线| 日本一卡二卡三卡四卡无卡免费网站下载| 欧洲不卡一卡2卡三卡4卡网站| 欧美日韩2018一卡2卡3卡4卡网站| 国产亚洲乱码1卡2卡3卡4卡| 成片一卡一卡二卡手机| 1卡2卡3卡4卡免费| 一本二卡三卡四卡乱码娱乐网| 国产亚洲一卡2卡3卡四卡国色天香| e本大道一卡二卡入在线观看| 精品一卡二卡三卡四卡网站| 一卡二卡三卡四卡无卡免费播放| 欧洲一卡2卡三卡4卡乱码| 一本大道一卡二卡四卡| 高清精品一区二区三区| 欧洲最新一卡二卡三卡四卡| 欧洲1卡二卡三卡四卡| 成人e道1卡2卡3卡| 欧洲2021卡一卡二乱码| 亚洲日韩精品欧美一区二区| 成片一卡二卡三卡四卡图片| 一本大道一卡二卡三卡四卡| 国产亚洲一卡二卡3卡四卡免费| 日本卡一卡二卡三卡四视频版| e道一卡二卡三卡| 欧美日韩一卡二卡≡卡四卡在线视频| 1卡2卡3卡免费| 一卡一卡高清在线观看| 成片卡1卡2乱码免费| 国产毛1卡2卡3卡4卡视| 一卡二卡三卡不卡| 精品一卡二卡3卡4卡| 精品一卡二卡三卡四卡| 一卡二卡三卡四卡五卡在线直播| 日本乱码一本二卡三卡四卡| 国产亚洲一卡三卡四区一卡三卡| 2020年日本高清一卡二卡三卡四卡| 一卡二卡三卡四卡在线视频| 卡一卡二卡三免费视频成人用品| 免费不卡视频一卡二卡| 国产亚洲一卡2卡3卡4卡免费观看| 欧洲一卡二卡三乱码| 成片一卡二卡≡卡四卡在线视频| 欧美日韩2018一卡2卡3卡4卡网站| 成片一卡二卡三乱码| 一卡二卡三卡四卡无卡免费播放| 国产亚洲一本二卡三卡四卡无卡免费高| 一本到卡二卡三卡免费高清视频| 人妻无码av一区二区三区精品| 欧美一卡二卡三卡免费版| 卡|卡2卡3卡4卡5免费| 免费国产卡一卡二卡三卡四| 一卡二卡三卡四卡每日更新在线观看| 精品一本到卡二卡三卡免费高清| 国产麻豆毛1卡2卡3卡4卡视频| 成片不卡1卡2卡三卡网站导航| 亚洲一卡2卡三卡4卡国色| 一卡二卡三卡四卡五卡在线直播| 免费卡一卡二卡三卡四电影网| 一卡三卡四卡无卡免费网站| 插痛30分钟一卡二卡三卡| 欧美日韩不卡1卡2卡三卡网站导航| 国产亚洲一卡二卡三卡| 国产1卡2卡3卡4卡免费| e本大道一卡二卡| 日本卡1卡2卡3| 日本无码免费一区二区三区| 欧美一卡二卡四卡无卡国色天香| 成片一本到卡二卡三卡免费高清| 精品一卡二卡三乱码| 欧洲中一卡2卡三卡4卡网站| 高清一卡二卡三卡四卡免费观看| 成片一卡二卡三新区入口| 成片一卡二卡二卡手机| 一卡二卡三卡四卡视频在线观看| 成片卡一卡二卡三新区| 一卡二卡三卡四卡免费| 日本一卡二卡三卡四卡在线观看免费软件| 欧美日韩一卡二卡3卡4卡网站| 高清一卡二卡三卡四卡视频| 国产亚洲1卡二卡三卡4卡| e本大道一卡二卡三| 欧美1卡2卡3卡4卡残暴| 欧美日韩免费一卡三卡四卡| 欧美一卡二卡三卡四卡免费观在线| 精品不卡1卡2卡三卡网站导航| 欧美日韩AV一卡2卡三卡4卡幕| 国产亚洲1卡2卡3卡4卡免费高清| 成片一卡2卡3卡4卡乱码网站导航| 成片高清无卡码一区二区三区| 欧洲一卡两卡三卡| 久久精品一卡二卡三卡四卡视频版| 毛日本一卡二卡三卡四卡免费| 欧洲一卡2卡三卡4卡乱码毛1| 国产精品一卡二卡三卡四卡| 一卡二卡三卡四卡高清在线|